زمينه فني اختراع حاضر مربوط به زمينه مكاترونيك كه تلفيقي از مكانيك، برق الكترونيك و كامپيوتر است مي¬باشد. اين دستگاه يكي از اصلي¬ترين و اساسي¬ترين دستگاه¬هاي يك آزمايشگاه نانو، پليمر، ميكرو الكترونيك، MEMS، شيمي يا مواد است. كاربرد اصلي اين دستگاه در ايجاد پوشش¬هاي فوتورزيست پليمري با ضخامت مشخص بر روي زيرلايه هاي سيليكوني، شيشه¬اي و ... به صورت دوراني است. تنظيم سرعت و شتاب به صورت يكپارچه و اتوماتيك، عدم امكان كنترل دستي سرعت، شستشوي دستگاه با مواد حلال و امكان تزريق گاز خنثي به داخل محفظه و همچنين نشتي خلا به هنگام دوران از جمله مشكلاتي است كه عمدتا كاربران اين دستگاه¬ها به صورت همزمان با آن مواجه هستند. اين دستگاه با بكارگيري يك صفحه نمايش لمسي امكان تعريف سرعت، شتاب و مدت زمان را براي كاربر در دو حالت دستي و اتوماتيك فراهم آورده است. همچنين با بكارگيري كاسه پليمري و بدنه تمام استيل امكان شستشو نيز براي دستگاه فراهم گرديده است. با قرار دادن منفذ تزريق گاز خنثي در داخل ديواره كاسه دستگاه، امكان تزريق گاز خنثي به داخل محيط پوشش¬دهي فراهم گرديده است. همچنين با طراحي خاص قسمت ايجاد خلا، ميزان نشتي خلا در حالت دوران به حداقل مقدار خود رسيده است كه اين كار منجربه كوچكتر شدن پمپ خلا مورد نياز براي دستگاه نيز گرديده است.

وجود تجهيزات آزمايشگاهي به منظور ايجاد لايه، انتقال الگو و اچينگ زيرلايه از جمله موارد بسيار مهم در يك آزمايشگاه ميكروالكترونيك، MEMS و يا مواد است. فراهم سازي تمامي اين تجهيزات در يك فضاي تميز (Clean) و عاري از ذرات گرد و غبار نيازمند هزينه بالا و فراهم سازي فضاي به نسبت بزرگ آزمايشگاهي است. ايجاد يك مجموعه با فضاي محدود و قيمت ارزان كه تمامي مراحل مذكور را بتوان در داخل آن به صورت پشت سرهم و بدون جابجايي در فضاي ازمايشگاه انجام داد يك هدف مهم و ارزشمند است. دستگاه پيشرو با فراهم كردن فضاي تميز معادل يك اتاق تميز و گردآوري دستگاه هاي پوشش دهي دوراني، ليتوگرافي تماسي و اچينگ مرطوب، يك آزمايشگاه ليتوگرافي كامل به منظور ايجاد، انتقال و زدايش الگوي روي ماسك بر روي زيرلايه ميباشد. اين مجموعه با ادغام دستگاه پوشش دهي دوراني بر روي ميز اصلي دستگاه امكان پوشش دهي ويفر يا زيرلايه تا قطر 6 اينچ را فراهم ميسازد. كاربرد اصلي اين دستگاه در زمينه ايجاد لايه پليمري بر روي زير لايه هاي مختلف، انجام عمليات مختلف بر روي زيرلايه همچون پخت، متاثر سازي به منظور انتقال الگوي ماسك بر روي آن و شستشو و اچينگ آن در داخل حمام اسيدي و يا بازي است. دماي قابل تنظيم محفظه حمام امكان تنظيم دماي محلول را در دماهاي با نرخ اچينگ بالا فراهم آورده و بدين ترتيب بدون خروج زيرلايه از داخل سيستم تمامي عمليات به صورت پشت سر هم بر روي آن انجام ميگيرد.